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簡(jiǎn)要描述：硅片厚度測量?jì)xSIT-200由精確可調激光光源，聚焦傳感器，光學(xué)接收器組成。波長(cháng)掃描光聚焦照射到目標上，由目標表面和背面反射光干涉形成干涉圖案，經(jīng)過(guò)聚焦傳感器后由光學(xué)探測器進(jìn)行檢測。
產(chǎn)品型號：SIT-200更新時(shí)間：2024-12-26訪(fǎng) 問(wèn) 量：937產(chǎn)品分類(lèi)
Product classification產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 品牌 | 其他品牌 | 價(jià)格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 組件類(lèi)別 | 其他 | 應用領(lǐng)域 | 電子 |
詳細介紹
硅片厚度測量?jì)xSIT-200
硅片厚度測量?jì)x（SIT-200）由精確可調激光光源，聚焦傳感器，光學(xué)接收器組成。波長(cháng)掃描光聚焦照射到目標上，由目標表面和背面反射光干涉形成干涉圖案，經(jīng)過(guò)聚焦傳感器后由光學(xué)探測器進(jìn)行檢測。
硅片厚度測量?jì)xSIT-200產(chǎn)品特點(diǎn)：
l 全光學(xué)，非接觸硅片厚度測試
l 高動(dòng)態(tài)范圍測量粗糙表面
l 濕法刻蝕過(guò)程中實(shí)時(shí)測量
高靈敏度 高精度 快速測量 遠程控制
結構示意圖
SIT-200
產(chǎn)品參數：
測量目標 | 硅片 |
測量厚度 | 10-500μm |
光源 | 1515-1585nm掃描 |
功率 | 0.6mw，Class1 |
指示光源 | 紅光，Class1M |
測量時(shí)間 | 20ms |
重復性 | 0.1μm |
輸出監控 | 干擾信號（電學(xué)） |
PC接口 | 網(wǎng)口 |
供電 | 100-240V，50/60Hz |
尺寸 | 364 x 147 x 391mm |
重量 | 9kg |
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