半導體參數分析儀  ，對標Keithley 4200A-SCS

Tensormeter專(zhuān)為自動(dòng)精密測量電阻和電壓而設計。Tensormeter設備的特點(diǎn)是其基于集成矩陣開(kāi)關(guān)的創(chuàng )新靈活架構。該開(kāi)關(guān)矩陣使得測量不僅限于傳統的四線(xiàn)阻抗測量，還包括張量測量、范德堡測量等，并且使設備能夠補償自身的漂移、偏移和噪聲，從而實(shí)現優(yōu)異的穩定性。Tensormeter RTM2能夠使用單一設備實(shí)現電阻張量（縱向和橫向電阻）的自動(dòng)記錄，甚至可以在未加模式的薄膜上進(jìn)行。它結合了鎖相放大器和源/測量單元的優(yōu)點(diǎn)，并具有出色的交流和直流性能。其測量范圍涵蓋從納歐姆到太赫茲，至少有8位數字的動(dòng)態(tài)范圍。

應用領(lǐng)域：
材料研究與表征：固體物理學(xué)；半導體物理學(xué)；磁學(xué)；柔性電子學(xué)；自旋電子學(xué)；新型功能電子材料和器件
工業(yè)研發(fā)和晶圓/器件測試：微電子器件；存儲器件；晶體管、二極管；LED/OLED；太陽(yáng)能電池；顯示器、TCO（導電氧化物透明電極）；傳感器
優(yōu)勢:

取代了所有用于電性特性測量的標準設備（例如鎖相放大器、源/測量單元、數字萬(wàn)用表）。
通過(guò)集成的矩陣開(kāi)關(guān)克服了固定4點(diǎn)測量的局限性。
提供van-der-Pauw和電阻張量測量的預設，并允許用戶(hù)進(jìn)行配置。
不需要復雜的樣品制備（例如光刻結構）。
允許輕松連接到許多不同的測量設置（例如探針站、低溫系統、真空系統）。
節省測量時(shí)間并提高樣品通過(guò)量。

特點(diǎn):

基于集成切換矩陣的可重新配置設備架構。 8個(gè)用戶(hù)定義通道（BNC連接器），其功能（輸入或輸出）可以自由確定。
使用固定連接進(jìn)行傳統的交流和直流四線(xiàn)測量（Kelvin/霍爾幾何）。
使用一個(gè)設備進(jìn)行交替連接的交流和直流測量（van-der-Pauw幾何）。
在無(wú)需光刻圖案的情況下同時(shí)測量縱向和橫向電阻的精確分離絕對值。
常見(jiàn)測量模式的軟件預設，但可以切換到用戶(hù)需要的任意序列。
基于TCP的通信，易于在任何環(huán)境中集成（例如LabVIEW、C、Python）。

控制軟件用戶(hù)界面：

典型測量示例:

半導體參數分析儀在標準幾何形狀（Kelvin和Hall布局）中進(jìn)行超低噪聲和高穩定性的交流和直流四線(xiàn)測量。
在不規則、非結構化的薄膜樣品上進(jìn)行Van-der-Pauw切換連接的四線(xiàn)測量。
零偏Hall四線(xiàn)測量（即使在非結構化樣品上也能精確分離縱向和橫向電阻）。
亞百萬(wàn)分之一相對電阻變化的測量。
比率電阻測量，以消除樣品和器件漂移。

高驅動(dòng)諧波失真測量，脈沖和測量例行程序。

低電阻傳感器和樣品：電阻傳感器的差分輸入噪聲頻譜。超低寬帶和1/f噪聲的交流測量可精確表征和操作傳感器。

零偏Hall：消除漂移和寄生效應 薄膜樣品上Hall測量的差分輸入噪聲頻譜。Tensormeter的零偏Hall預設消除了熱漂移，允許長(cháng)時(shí)間積分，并且相比于常規的4線(xiàn)Hall測量，靈敏度提高了數個(gè)數量級。

自旋電子學(xué)：在反鐵磁樣品熱穩定期間磁序的喪失在Hall電阻中監測。Tensormeter的零偏Hall預設（頂部）清晰顯示了信號的喪失。相反，在相同樣品的常規4線(xiàn)Hall測量中，寄生信號的貢獻掩蓋了有用的磁化信號（底部）。

技術(shù)參數：

電氣規格

硬件/安裝

產(chǎn)品示意圖：

設備前面板包括：1. 8個(gè)BNC端口，用于多個(gè)模擬功能：驅動(dòng)、感測、參考相位鎖定。2. LED指示燈，用于指示端口功能：輸入（白色箭頭）或輸出（藍色箭頭）。3. 冷卻風(fēng)流入口（請勿阻擋）。4. 便于攜帶和機架安裝的把手。5. 19英寸機架安裝孔。

設備后面板包括：6. 2個(gè)BNC端口，用于多個(gè)數字功能：觸發(fā)、閾值檢查、PWM。7. 以太網(wǎng)連接器，用于主要的TCP通信。8. 帶保險絲和開(kāi)關(guān)的主電源插口。9. 設備信息顯示。10. 冷卻風(fēng)流出口（請勿阻擋）。

貨物清單：

Tensormeter RTM2 19英寸機架安裝設備
軟件包，包括LabVIEW和Python的客戶(hù)端代碼示例（無(wú)需驅動(dòng)程序）
Tensormeter RTM2用戶(hù)指南，包括TCP命令、操作參數指南
帶F型連接器的主電源電纜（根據需要提供其他類(lèi)型）
以太網(wǎng)電纜